การสปัตเตอร์สองด้านและการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอนรวมระบบการเคลือบม้วนสูญญากาศ - เทคโนโลยีการเคลือบฟิล์มบางที่มีประสิทธิภาพและแม่นยำ

นี้ เครื่องดูดฝุ่น เป็นอุปกรณ์ขั้นสูงสำหรับการเคลือบภายใต้สภาวะสูญญากาศสูง มันรวมเทคโนโลยีการระเหยของลำแสงและอิเล็กตรอนสองด้านเข้าด้วยกันและสามารถสะสมฟิล์มบาง ๆ ได้อย่างมีประสิทธิภาพและแม่นยำบนพื้นผิวของพื้นผิวที่แตกต่างกัน มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตสารเคลือบโลหะเช่นทองแดงและอลูมิเนียม ผ่านระบบนี้การเคลือบคุณภาพสูงของการเคลือบทองแดงสองด้านและอลูมิเนียมสามารถทำได้ซึ่งเหมาะอย่างยิ่งสำหรับความต้องการการผลิตขนาดใหญ่ กำลังการผลิตของระบบนี้สามารถเข้าถึงได้ประมาณ 710,000 ตารางเมตรต่อเดือนซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการของการผลิตขนาดใหญ่ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ความกว้างการเคลือบที่มีประสิทธิภาพคือ 1300 มม. และความเร็วเส้นสูงถึง 15 เมตรต่อนาที มันสามารถบรรลุการสะสมฟิล์มบาง ๆ ที่สม่ำเสมอและมีความแม่นยำสูงในระหว่างกระบวนการเคลือบ ไม่ว่าจะเป็นการผลิตจำนวนมากหรือผลิตภัณฑ์ที่มีความแม่นยำสูงสามารถให้ประสิทธิภาพที่มั่นคงและมีประสิทธิภาพ

กระบวนการเคลือบรวมการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอนและเทคโนโลยีสปัตเตอร์ ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศอิเล็กตรอนพลังงานสูงหรือเลเซอร์ระเบิดวัสดุเป้าหมายเพื่อให้อะตอมหรือไอออนของพื้นผิวถูกสะสมอยู่บนพื้นผิวในรูปแบบของการสะสมไอซึ่งสร้างฟิล์มบางที่มีประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม การระเหยของลำแสงอิเล็กตรอนเป็นเทคโนโลยีที่สร้างฟิล์มบาง ๆ บนพื้นผิวโดยการให้ความร้อนกับวัสดุเป้าหมายด้วยลำแสงอิเล็กตรอนและระเหย ในกระบวนการนี้ลำแสงอิเล็กตรอนจะถูกเร่งให้อยู่ในระดับพลังงานที่สูงมากและมุ่งเน้นไปที่พื้นผิวของวัสดุเป้าหมาย วัสดุเป้าหมายจะถูกทำให้ร้อนอย่างรวดเร็วไปยังจุดระเหยและอะตอมหรือโมเลกุลบนพื้นผิวจะถูกปล่อยออกมาในรูปแบบก๊าซและวางอยู่บนพื้นผิวที่เย็นลงเพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ เทคโนโลยีสปัตเตอร์เป็นเทคโนโลยีที่ทิ้งระเบิดวัสดุเป้าหมายด้วยอนุภาคพลังงานสูงเพื่อให้อะตอมหรือไอออนของพื้นผิวถูกปล่อยออกมาในรูปแบบของกลุ่มอะตอมและวางอยู่บนพื้นผิว โดยปกติแล้วกระบวนการสปัตเตอร์จะดำเนินการในบรรยากาศความดันต่ำโดยใช้ไอออนหรือคานอิเล็กตรอนเพื่อทิ้งระเบิดวัสดุเป้าหมายเพื่อให้อะตอมบนพื้นผิวของวัสดุเป้าหมายถูกแยกออกและสร้างฟิล์มบาง ๆ ในกระบวนการเคลือบเทคโนโลยีการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอนสามารถสะสมชั้นโลหะได้อย่างมีประสิทธิภาพในขณะที่เทคโนโลยีการสปัตเตอร์สามารถบรรลุการสะสมของฟิล์มบางฟังก์ชั่นที่สม่ำเสมอ การรวมกันของทั้งสองสามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตลดของเสียจากวัสดุและลดต้นทุน

องค์ประกอบของชั้นฟิล์มรวมถึงชั้นยึดเกาะ (SP), ทองแดงชั้นอิเล็กโทรด (การระเหย) และชั้นป้องกัน (SP) ซึ่งทำให้มั่นใจได้ว่าการยึดเกาะสูงและการนำไฟฟ้าที่มีเสถียรภาพของฟิล์ม เพื่อให้แน่ใจว่ามีประสิทธิภาพสูงของฟิล์มอุปกรณ์นี้ให้การควบคุมความหนาของฟิล์มที่แม่นยำด้วยความแม่นยำในการกระจายความหนาของฟิล์ม 10%ซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการเรียกร้องแอปพลิเคชัน การควบคุมความหนาของฟิล์มที่แม่นยำทำให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอของฟิล์มในพื้นที่ต่าง ๆ หลีกเลี่ยงความแตกต่างในการนำไฟฟ้าหรือปัญหาคุณภาพอื่น ๆ ที่เกิดจากชั้นฟิล์มที่ไม่สม่ำเสมอ นอกจากนี้ความต้านทานของฟิล์มสามารถควบคุมได้ที่ 25 เมตร Ω ซึ่งต่ำกว่าความต้านทานของวัสดุดั้งเดิมจำนวนมากเพื่อให้มั่นใจว่าการเคลือบนั้นมีค่าการนำไฟฟ้าสูงมาก ด้วยการควบคุมความต้านทานอย่างแม่นยำสามารถทำให้มั่นใจได้ว่าผลิตภัณฑ์รักษาค่าการนำไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมในระหว่างการใช้งานระยะยาวหลีกเลี่ยงประสิทธิภาพของอุปกรณ์ลดลงหรือล้มเหลวเนื่องจากความต้านทานมากเกินไป

อุปกรณ์สามารถเคลือบบนพื้นผิวที่หลากหลายรวมถึงฟิล์ม PET/PP ที่มีช่วงความหนา 3 μ m ถึง 12 μ ม. ไม่ว่าจะเป็นอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ยืดหยุ่นเซลล์แสงอาทิตย์หน้าจอสัมผัสเซ็นเซอร์และสาขาอื่น ๆ สามารถให้เอฟเฟกต์การเคลือบคุณภาพสูง ความดันอากาศในการดำเนินงานของระบบนั้นยังคงอยู่ในช่วงแรงดันต่ำที่ 0.005 ถึง 0.01pa ทำให้มั่นใจได้ว่าการประมวลผลการเคลือบที่แม่นยำในสภาพแวดล้อมสูญญากาศ ในขณะเดียวกันก็มีเทคโนโลยีการบำบัดพื้นผิวการทิ้งระเบิดไอออนเพื่อปรับปรุงการยึดเกาะระหว่างชั้นฟิล์มและสารตั้งต้นเพื่อให้มั่นใจถึงความทนทานและประสิทธิภาพสูงของการเคลือบ